لایه نشانی با تبخیر حرارتی

لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی در خلا ایجاد شده توسط پمپ های روتاری و دیفیوژن انجام می شود که با اعمال جریان بالا تارگت مورد نظر گرم (ذوب) و لایه نشانی آغاز می شود. لایه نشانی توسط کریستال کوارتز در حین لایه نشانی کنترل شده تا به  ضخامت مورد نظر برسیم.